朗盛生产超纯水用混床树脂

  中化新网讯 10月10日,朗盛宣布研发出一种新型混床树脂,用于半导体生产中的超纯水处理工序。

  朗盛液体净化技术业务部技术营销经理Hans-Juergen Wedemeyer表示:“在德国生产的新型离子交换树脂有助于国际上蓬勃发展的半导体行业实现低成本、可持续和无故障生产。”

  据了解,半导体和显示器的生产需要进行复杂的水处理,以确保所用的水达到要求的纯度,尤其是最新一代晶片和微芯片对所使用的离子交换树脂系统的质量要求更高,而使用标准离子交换树脂进行常规一级脱盐、反渗透、脱气、超滤和过氧化氢去除是最重要的步骤。其中,最后一个阶段需要使用超纯混床树脂进行终端抛光,朗盛推出的新型离子交换树脂就是为此专门研发的。

  Wedemeyer说,处理后的超纯水可用于微芯片生产中的蚀刻和清洗过程。阴离子和阳离子交换树脂的总容量大,再生能力强,在去除硼、二氧化硅以及金属离子方面具有出色的运行能力。

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