河南风优创材料技术有限公司揭牌

中化新网讯 2月28日,河南风优创材料技术有限公司在河南许昌举行揭牌仪式。该公司由河南黄河旋风股份有限公司与深圳优普莱等离子体技术有限公司合资设立,聚焦微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)多晶金刚石晶圆产品的研发与生产。

项目总投资12亿元,其中一期投资3.6亿元,规划配置50台MPCVD设备,预计3月底全面投产,规划年产20000片,主要面向芯片封装领域的中试需求。MPCVD是制备电子级金刚石晶圆的主流技术路线。该技术通过等离子体环境促进碳源气体分解并在基底上沉积金刚石层,可实现较高纯度与可控厚度生长,适用于晶圆级材料制备。

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