大连科利德自主创新实现高纯半导体材料国产替代

1～2月，大连科利德半导体材料股份有限公司共销售高纯电子特种气体及半导体前驱体等高纯半导体材料超过3900吨，继续保持增长态势。

这些产品都是公司自主研发并在国内实现产业化，产品技术指标达到国际先进水平，实现了国产替代。公司拥有的自主知识产权“电子级三氯化硼的制备方法及其所获得的三氯化硼”等专利技术解决了三氯化硼合成及纯化技术难点，实现了三氯化硼无氧无水低成本安全合成路线及形成微量杂质脱出技术，在国内率先实现6.5N级高纯三氯化硼产业化发展。

在全球半导体产业竞争加剧、核心技术自主化需求迫切的今天，大连科利德深耕高纯半导体材料领域二十载，凭借自主创新突破多项“卡脖子”技术，是国内唯一自研产品涵盖清洗、刻蚀、掺杂、沉积、离子注入等关键制造工艺环节的半导体材料本土企业，成为国产高纯半导体材料替代浪潮中的领军企业。

大连科利德副总经理王天富介绍，公司科研团队经过30多年技术积累，对行业具有深刻理解，先后承担6项国家级、6项省级以及5项市级重大科研项目，其中独立承担3项国家863计划及1项国家02专项课题。公司主导或参与制定了国家团体标准15项，获得授权专利80余项。已形成高纯半导体材料的制备技术、痕量杂质分析检测技术、洁净罐装技术等产品底层核心技术，成功突破高纯半导体材料领域多项关键核心技术，填补国内空白。

“目前我国高端半导体材料大部分依赖进口。”面对全球供应链变局，大连科利德以“国产替代”为战略支点，构建覆盖半导体全产业链的自主产品矩阵，已在逻辑芯片、存储芯片、第三代半导体等领域实现规模化应用，并成功应用于集成电路领域12英寸3纳米先进制程工艺，新型显示领域10.5代产线及主动矩阵有机发光二极体（AMOLED）产线等。

“由制造型企业向创新服务型企业转变，不断延伸价值链，大连科利德正逐步实现以‘创新+生产’向‘创新+服务’转型。”

作为国家级高新技术企业，大连科利德始终将科技创新视为核心竞争力，坚持创新和产业深度融合发展，大力培育新质生产力，从突破半导体材料核心共性技术出发，打造从技术到产品，从半导体产业创新链到产业链全线贯通融合发展，成为世界级高纯半导体材料服务商，为全球半导体产业注入“中国创新力”。